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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:BAG552熱電離真空計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品廠商:INFICON
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
對(duì)于需要獨(dú)立熱離子規(guī)技術(shù)的應(yīng)用,Trigon? 系列中包含了采用單一技術(shù)的 Bayard-Alpert 熱電離規(guī) BAG552。 BAG552 專為壓力范圍為 5 × 10-10?... 2 x 10-2?毫巴的氣體真空測(cè)量而設(shè)計(jì)。支持雙燈絲,具有出色的精度、可重復(fù)性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計(jì)控制器系列?VGC501、VGC502?和?VGC503?配合使用。
詳情介紹:
對(duì)于需要獨(dú)立熱離子規(guī)技術(shù)的應(yīng)用,Trigon? 系列中包含了采用單一技術(shù)的 Bayard-Alpert 熱電離規(guī) BAG552。

BAG552 專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測(cè)量而設(shè)計(jì)。支持雙燈絲,具有出色的精度、可重復(fù)性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計(jì)控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。


優(yōu)勢(shì)

1,純粹的 Bayard-Alpert 測(cè)量系統(tǒng),適用于超高壓和高壓測(cè)量范圍
2,雙燈絲設(shè)計(jì)
3,電隔離電子設(shè)備,避免雜散電流
4,滑動(dòng)發(fā)射模式,避免在切換發(fā)射流時(shí)出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
5,可移動(dòng)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片,延長了烘烤時(shí)間
6,設(shè)定點(diǎn)繼電器
7,明亮大屏幕 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉(zhuǎn)),帶用戶界面
8,模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
9,可與 VGC50x 控制器系列配合使用
10,符合 RoHS 規(guī)范

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體工藝中的壓力測(cè)量
工業(yè)鍍膜
高真空至超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制


測(cè)量范圍 :(氣, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar 
準(zhǔn)確度 :1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar ±15% 讀數(shù) 
可重復(fù)性: 5% 讀數(shù), 10-8 … 2 × 10-2 mbar (穩(wěn)定 10 分鐘后) 
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢 







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