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產品詳情
簡單介紹：
TripleGauge? BCG552 在一個傳感器法蘭中集成了 3 個真空傳感元件。這款新型 TrigonTM 系列的旗艦產品具有極寬的測量范圍，從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 傳感器，BCG552 可用于壓差測量，并在多個應用中用作真空開關。
支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲在 UHV 和 HV 范圍內具有出色的精度、可重復性和使用壽命，而微型電容式隔膜真空計在 ATM 范圍內具有出色的精度，并且不受氣體類型的影響。
詳情介紹：
TripleGauge® BCG552 在一個傳感器法蘭中集成了 3 個真空傳感元件。這款新型 TrigonTM 系列的旗艦產品具有極寬的測量范圍，從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 傳感器，BCG552 可用于壓差測量，并在多個應用中用作真空開關。
支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲在 UHV 和 HV 范圍內具有出色的精度、可重復性和使用壽命，而微型電容式隔膜真空計在 ATM 范圍內具有出色的精度，并且不受氣體類型的影響。
1，3 + 1 個傳感元件，測量范圍極廣，降低成本，節(jié)省空間
2，雙燈絲設計
3，獨立于氣體類型的壓力測量（10 托以上）為任何混合氣體提供更可靠的負載鎖定控制
4，壓差測量消除了與大氣壓力變化有關的不確定性
5，自動高真空皮拉尼調節(jié)減少了操作員的干預
6，電隔離電子元件可避免雜散電流
7，滑動排放模式，避免在切換排放流時出現壓力跳躍和凍結現象
8，設定點繼電器
9，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉），帶用戶界面
10，模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12，向后兼容 TripleGauge® BCG450
13，符合 RoHS 規(guī)范
半導體制程、傳輸和負載鎖定室中的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空至超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制
準確度 950 ... 1050 mbar ±2.5% 讀數
50 ... 950 mbar ±5% 讀數
1 × 10-8 … 50 mbar ±15% 讀數
可重復性 5% 讀數, 1 × 10-8 … 1050 mbar (穩(wěn)定 10 分鐘后）
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢
