離子基準(zhǔn)真空計(jì) IRG080 是專(zhuān)為在真空系統(tǒng)中**測(cè)量總壓而開(kāi)發(fā)的一款真空傳感器。IRG080 基于**的電離真空計(jì)概念（熱陰極發(fā)射電子以直線(xiàn)路徑進(jìn)入法拉第杯），適用于 10-8 mbar 至 10-4 mbar 范圍內(nèi)的參考標(biāo)準(zhǔn)。

IRG080 具有的精度（低至 1%）、可預(yù)測(cè)的氣體靈敏度（極小的差值）、非常好的短期重復(fù)性和再現(xiàn)性。該儀器是計(jì)量和校準(zhǔn)的理想解決方案。IRG080 由 IRC081 顯示和操作單元連接和控制。

優(yōu)勢(shì)

1，專(zhuān)為在高真空和超高真空范圍內(nèi)要求高測(cè)量精度的應(yīng)用而開(kāi)發(fā)

2，電極系統(tǒng)配置符合 ISO TS 6737 標(biāo)準(zhǔn)

3，相對(duì)氣體靈敏度可預(yù)測(cè)，不確定性小，可測(cè)量所有氣體種類(lèi)的真實(shí)壓力

4，電子發(fā)射穩(wěn)定，不受 ESD 或 X 射線(xiàn)效應(yīng)的影響

5，可重復(fù)，易于運(yùn)輸

6，烘烤溫度可達(dá) 165 °C（帶耐溫電纜），不帶連接器單元時(shí)烘烤溫度可達(dá) 400 °C

7，可提供用于磁屏蔽的 Mu 金屬中間件

運(yùn)營(yíng)單元

離子參考計(jì)控制器 IRC081

參考標(biāo)準(zhǔn)

氮?dú)饩鹊陀?1

可預(yù)測(cè)的氣體靈敏度，誤差極?。?lt;1.5）

真正的總壓測(cè)量

非常佳的短期重復(fù)性（<1%）和再現(xiàn)性（<1）

測(cè)量原理

電子離開(kāi)陰極（左側(cè)），被陽(yáng)極加速到 200 eV，然后被離子收集器聚焦。電子路徑的長(zhǎng)度具有良好的特性，因此儀器的靈敏度是可以預(yù)測(cè)的。電子在陽(yáng)極柵內(nèi)產(chǎn)生的離子被加速到收集器，并以電流形式測(cè)量。陽(yáng)極柵外產(chǎn)生的離子會(huì)被偏轉(zhuǎn)器捕獲。

一個(gè)完整的套餐

通過(guò)離子參考規(guī)控制器 IRC081 的操作和顯示界面

用戶(hù)可控制 IRG080 儀器參數(shù)

在 IRC081 用戶(hù)界面軟件 (LabVIEWTM) 中顯示設(shè)置和測(cè)量值

數(shù)據(jù)和參數(shù)記錄功能