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Leybold真空泵油
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BUSCH真空設(shè)備
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Vogtlin流量控制儀器
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ALICAT流量控制儀器
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VAT真空閥門(mén)
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真空泵
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水汽冷凝捕集系統(tǒng)
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石英晶片
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INFICON固態(tài)高壓電源
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- 超典型應(yīng)用－針對(duì)薄膜沉積設(shè)備而特別設(shè)計(jì)的抽氣系統(tǒng)
- 是目前性能極優(yōu)，造型超緊湊的機(jī)型
- 超新型的一體式抽氣理念，旨在實(shí)現(xiàn)極大生產(chǎn)量和極短停機(jī)時(shí)間
系統(tǒng)界面
- 一體化 的機(jī)型包括了渦輪分子泵，驅(qū)動(dòng)配置，供電電源配置，氣體保護(hù)配置機(jī)通信配置
- 通用的電子接口，便于用戶(hù)使用控制軟件
- 模擬I/O信號(hào)，標(biāo)配為RS232或RS485接口
- 可選配Varian 通用總線(xiàn)控制接口
應(yīng)用知識(shí)
- 在特定的應(yīng)用領(lǐng)域，通用產(chǎn)品無(wú)法統(tǒng)統(tǒng)滿(mǎn)足性能要求
- TV－2KG是應(yīng)廣大用戶(hù)的真實(shí)需求而開(kāi)發(fā)，可實(shí)現(xiàn)用戶(hù)滿(mǎn)意度
- 配備獨(dú)特，為工業(yè)鍍膜行業(yè)量身定做
- 滿(mǎn)足工業(yè)生產(chǎn)的工藝要求，得到工業(yè)界的認(rèn)同
供貨鏈及物流
- 通過(guò)有效的組織和計(jì)劃，保證了在超合適的時(shí)間和地點(diǎn)提供配件，減少用戶(hù)在當(dāng)?shù)氐膸?kù)存
- 供貨鏈上各種相關(guān)產(chǎn)品能高效周轉(zhuǎn)，用戶(hù)只備少量庫(kù)存亦可應(yīng)付自如
- Varian的客戶(hù)服務(wù)組織采用先進(jìn)的SAP系統(tǒng)，在全球共同運(yùn)作
- 具備自診斷功能
- 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)分子泵的各項(xiàng)參數(shù)，包括振動(dòng)圖譜
- 借助簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)連接，Varian的服務(wù)組織可以為您提供實(shí)時(shí)服務(wù)
- 主動(dòng)的維護(hù)計(jì)劃使分子泵的使用壽命及無(wú)故障運(yùn)行時(shí)間大大延長(zhǎng)
完善的支持
- 設(shè)有專(zhuān)門(mén)的服務(wù)電話(huà)，為您提供實(shí)時(shí)全程服務(wù)
- 各地的Varian代表使用您熟悉的語(yǔ)言與您溝通，為您提供技術(shù)/應(yīng)用/訂貨/工程等方面的支持
- 提供極廣泛的服務(wù)計(jì)劃，即使苛刻的需求您也可以得到專(zhuān)門(mén)周到的服務(wù)
鍍膜領(lǐng)域的應(yīng)用包括
- 建筑玻璃鍍膜，汽車(chē)玻璃鍍膜，太陽(yáng)能玻璃鍍膜
- 平板顯示屏鍍膜
- 光學(xué)及電磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)產(chǎn)品的鍍膜，如讀寫(xiě)探頭
- 用于增強(qiáng)耐磨性能的表面處理
- 用于眼科透鏡的光學(xué)鍍膜及用于光學(xué)數(shù)據(jù)傳輸上的慮光鏡鍍膜
- 制備功能性薄膜及裝飾型鍍膜，包括金屬化膜層
- 可應(yīng)用于食品工業(yè)，包裝業(yè)及電子產(chǎn)品行業(yè)的卷繞鍍膜
- 可應(yīng)用于氣載叫道的PVD及其它等離子體工藝設(shè)備
可靠的設(shè)計(jì)
TV－2KG身為分子泵的一員，但性能更勝過(guò)普通分子泵，它是專(zhuān)為等離子體工藝領(lǐng)域設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的抽氣系統(tǒng)。事實(shí)上，TV－2KG的各抽氣級(jí)甚至整個(gè)泵的結(jié)構(gòu)，都是以能在較高氬氣負(fù)載和溫度條件下保持上佳抽氣性能為目標(biāo)來(lái)優(yōu)化設(shè)計(jì)的，它的電路系統(tǒng)具有更多附加特性，泵內(nèi)還集成了放氣和抽氣閥門(mén)，其軸承具有免維護(hù)特性，這些優(yōu)點(diǎn)無(wú)疑使TV－2KG成為應(yīng)用在鍍膜行業(yè)的非常好的分子泵。
獨(dú)特的拖動(dòng)級(jí)設(shè)計(jì)
TV－2KG雖然外形緊湊，但其拖動(dòng)級(jí)的獨(dú)特設(shè)計(jì)確保了在高原強(qiáng)下對(duì)氬氣抽氣使仍保持大抽氣量。拖動(dòng)級(jí)由一體化的兩層盤(pán)片組成，這樣的設(shè)計(jì)大大提高了散熱效率 ，因而極大程度地降低了泵高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的內(nèi)部溫度。
TV－2KG將充氣及放氣閥集成于泵內(nèi)，為世界首例。充氣保護(hù)及放氣過(guò)程的控制都由內(nèi)部電路驅(qū)動(dòng)完成，不再需要任何部件置于泵體外部。分子泵在這樣周到的保護(hù)下，不易受到外部沖擊和污染的損傷，因而極大限度地延長(zhǎng)了使用壽命。
TV－2KG系統(tǒng)配置了Varian獨(dú)有地軸承和無(wú)油潤(rùn)滑系統(tǒng)，可免維護(hù)長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)。另外，它可任意位置安裝，而絲毫不會(huì)降低其性能和壽命。
TV－2KG配備了特別的溫度控制系統(tǒng)，使其能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控泵的氣載，功率，及冷卻水溫度，確保了材料負(fù)荷及軸承負(fù)荷在安 全范圍內(nèi)工作。
TV－2KG所有的電路系統(tǒng)，都置于泵的底殼內(nèi)，具有防水特性，符合IP54規(guī)范。借助微處理器的強(qiáng)大功能，TV－2KG的控制接口能與外部控制系統(tǒng)方便地連接，并通過(guò)一臺(tái)筆記本電腦和Navigator軟件輕松實(shí)現(xiàn)各種控制。
分子泵選型指南
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分子泵
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產(chǎn)品型號(hào)
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V70
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V70D
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V70LP
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V301
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V551
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V701
|
V1001
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V2000HT
|
V6000
|
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轉(zhuǎn)速 rpm
|
75000
|
75000
|
75000
|
56000
|
42000
|
42000
|
38000
|
33000
|
14000
|
|
進(jìn)氣口法蘭 DN
|
40/63
|
40/63
|
40/63
|
100/160
|
100/160
|
200
|
160/200/250
|
250
|
500
|
|
出氣口法蘭DN
|
16
|
16
|
16
|
16
|
25
|
25
|
40
|
40
|
100
|
|
抽速 N 2 L/s
|
46/68
|
40/60
|
46/68
|
250/280
|
350/550
|
690
|
790/950/1050
|
1950
|
6000
|
|
壓縮比 N2
|
5×107
|
5×107
|
5×108
|
7×108
|
＞1×109
|
1×109
|
1×109
|
＞1×109
|
＞1×1010
|
|
極限壓強(qiáng) mbar
|
1×10-9
|
＜1×10-9
|
＜2×10-10
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＜5×10-10
|
＜1×10-10
|
＜1×10-10
|
＜1×10-10
|
1×10-10
|
＜1×10-10
|
|
啟動(dòng)時(shí)間 min
|
＜ 1
|
＜ 1
|
＜ 1
|
2.5
|
＜ 5
|
＜ 5
|
＜ 4
|
10
|
30
|
